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• 期刊论文 [15]

发表日期

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浏览/检索结果: 共15条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 X射线光刻掩模背面刻蚀过程中的形变仿真 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2004, 期号: 3, 页码: 19-23,28 作者:  王永坤;  余建祖;  余雷;  陈大鹏   |  收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2010/05/26 X射线掩模  掩模形变  背面刻蚀  有限元  平面内形变  非平面形变   50nm X射线光刻掩模制备关键技术 期刊论文  OAI收割 核技术, 2004, 卷号: 27, 期号: 2, 页码: 96-98 作者:  叶甜春;  伊福廷;  彭良强;  张菊芳;  韩勇   |  收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2010/05/26 X射线光刻  掩模  金刚石  吸收体  键合   用于X射线光刻掩模的纳米金刚石膜成核研究 期刊论文  OAI收割 无机材料学报, 2004, 卷号: 19, 期号: 4, 页码: 887-894 作者:  刘志凌;  叶甜春;  陈大鹏;  吕反修;  李东辉   |  收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2010/05/26 成核  金刚石薄膜  Mpcvd  X射线光刻掩模   50 nm X射线光刻掩模制备关键技术 期刊论文  OAI收割 核技术, 2004, 期号: 2, 页码: 96-98 作者:  董立军;  陈大鹏;  谢常青;  韩敬东;  叶甜春 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2015/12/25 X射线光刻  掩模  金刚石  吸收体  键合   X射线光刻掩模后烘过程的瞬态热分析 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2003, 期号: 2, 页码: 6，34-39 作者:  王永坤;  陈大鹏;  余雷;  余建祖   |  收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2010/05/25 X射线光刻  掩模  后烘烤  有限元技术  瞬态温度场   3B1束线上LIGA掩模的设计研究 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2003, 期号: Z1, 页码: 147-150 作者:  黄军容;  彭良强;  伊福廷;  蒋毅坚;  张菊芳 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2015/12/25 LIGA  掩模  X射线   同步辐射光刻技术进展 期刊论文  OAI收割 核技术, 2002, 期号: 10, 页码: 817-821 作者:  陈大鹏;  彭良强 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2015/12/25 同步辐射  光刻技术  研究进展  X射线光刻  掩模  集成电路  制造   同步辐射光刻技术研究进展 期刊论文  OAI收割 核技术, 2002, 期号: 10, 页码: 817-821 作者:  陈大鹏;  叶甜春;  谢常青;  李兵;  董立军 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2015/12/25 光刻  X射线光刻  下一代光刻  掩模   一种采用双面对准的硅LIGA掩模制作研究 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2000, 期号: 4, 页码: 45-49 作者:  刘泽文;  刘理天;  伊福廷;  李志坚 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2015/12/25 X射线  光刻  LIGA  MEMS  掩模   193nm光学掩模与x射线掩模技术比较 期刊论文  OAI收割 半导体情报, 1999, 卷号: 36, 期号: 2, 页码: 4,39_42 作者:  谢常青;  叶甜春   |  收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2010/05/25 光学掩模  X射线掩模  电子束光刻  Ic