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浏览/检索结果: 共11条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Piecewise Linear Weighted Iterative Algorithm for Beam Alignment in Scanning Beam Interference Lithography 期刊论文  OAI收割 Photonic Sensors, 2019, 卷号: 9, 期号: 4, 页码: 344-355 作者:  Y.Song;  Bayanheshig;  S.Li;  S.Jiang;  W.Wang   |  收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2020/08/24 Piecewise linear weighted iterative algorithm,beam alignment,scanning,beam interference lithography (SBIL),overshoot suppression,convergence,speed,femtosecond laser,fabrication,gratings,crystal,system,Instruments & Instrumentation,Optics   Orienting Thin Films of Lamellar Block Copolymer: The Combined Effect of Mobile Ions and Electric Field 期刊论文  OAI收割 MACROMOLECULES, 2018, 卷号: 51, 期号: 19, 页码: 7881-7892 作者:  Schick, M;  Man, XK;  Zheng, B;  Andelman, D;  Ou-Yang, ZC   |  收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2018/12/27 DIBLOCK COPOLYMER  MICROPHASE SEPARATION  ALIGNMENT  MICROSTRUCTURE  LITHOGRAPHY  ORIENTATION  PARALLEL  ARRAYS  NANOSTRUCTURES  TRANSITION   Moire-Based Absolute Interferometry With Large Measurement Range in Wafer-Mask Alignment 期刊论文  OAI收割 IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2015, 卷号: 27, 期号: 4 作者:  Di, Chengliang;  Yan, Wei;  Hu, Song;  Yin, Didi;  Ma, Chifei 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2015/07/10 Moire fringes  measurement range  wafer-mask alignment  lithography   Adjustment Strategy for Inclination Moire Fringes in Lithography by Spatial Frequency Decomposition 期刊论文  OAI收割 IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2015, 卷号: 27, 期号: 4 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Su, Xianyu;  You, Zhisheng 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2015/07/10 Proximity lithography  mask-wafer alignment  phase analysis  spatial frequency   Gap-optimized Moire phase imaging alignment for proximity lithography 期刊论文  OAI收割 OPTICAL ENGINEERING, 2015, 卷号: 54, 期号: 1 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2015/07/10 lithography  alignment  Moire techniques   Influence of Collimation on Alignment Accuracy in Proximity Lithography 期刊论文  OAI收割 IEEE PHOTONICS JOURNAL, 2014, 卷号: 6, 期号: 4 作者:  Wang, Nan;  Jiang, Wei;  Zhu, Jiangping;  Tang, Yan;  Yan, Wei 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2015/07/10 Collimation  moire fringe  lithography alignment   Moire-Based Phase Imaging for Sensing and Adjustment of In-Plane Twist Angle 期刊论文  OAI收割 IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, 2013, 卷号: 25, 期号: 18, 页码: 1847-1850 作者:  Zhou, Shaolin;  Xie, Changqing;  Yang, Yong;  Hu, Song;  Xu, Xiangmin 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2015/04/17 Optical sensing  coherent imaging  diffraction optical alignment  lithography   Influence of tilt moire fringe on alignment accuracy in proximity lithography 期刊论文  OAI收割 OPTICS AND LASERS IN ENGINEERING, 2013, 卷号: 51, 期号: 4, 页码: 371-381 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Yu, Junsheng;  Tang, Yan;  Xu, Feng 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2015/04/17 Angular displacement  Phase  Tilt moire fringe  Lithography alignment  Linear displacement   Alignment method based on matched dual-grating moire fringe for proximity lithography 期刊论文  OAI收割 OPTICAL ENGINEERING, 2012, 卷号: 51, 期号: 11 作者:  Zhu, Jiangping;  Hu, Song;  Yu, Junsheng;  Tang, Yan 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2015/07/10 lithography alignment  moire fringe  angular displacement   Control Strategy for a Low Cost Manipulator to Transport and Align IC Mask-Plates 期刊论文  OAI收割 IEEE TRANSACTIONS ON CONTROL SYSTEMS TECHNOLOGY, 2009, 卷号: 17, 期号: 5, 页码: 1018-1027 作者:  Xu, De;  Tan, Min;  Liu, Yun;  Wang, Jianhua 收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2015/08/12 Alignment  control system  four-quadrant photodetector (FQPD)  hybrid control  integrated-circuit (IC) optical lithography  manipulator