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Key technologies for dual high-k and dual metal gate integration
期刊论文
OAI收割
Chinese Physics B, 2018
作者:
Li YL(李永亮)
;
Wang WW(王文武)
;
Xu QX(徐秋霞)
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2019/05/05
Dry Etching of Metal Inserted Poly-Si Stack for Dual High-k and Dual Metal Gate Integration
期刊论文
OAI收割
ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2018
作者:
Wang WW(王文武)
;
jing Zhang
;
Xu QX(徐秋霞)
;
Li YL(李永亮)
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2019/05/05
Performance Enhancement for Charge Trapping Memory by Using Al2O3/HfO2/Al2O3 Tri-Layer High-k Dielectrics and High Work Function Metal Gate
期刊论文
OAI收割
ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2018
作者:
Hou CZ(侯朝昭)
;
Wu ZH(吴振华)
;
Yin HX(殷华湘)
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2019/05/05
Interface Modulation and Optimization of Electrical Properties of HfGdO/GaAs Gate Stacks by ALD-Derived Al2O3 Passivation Layer and Forming Gas Annealing
期刊论文
OAI收割
ADVANCED ELECTRONIC MATERIALS, 2018, 卷号: 4, 期号: 4, 页码: 9
作者:
Jiang, Shanshan
;
He, Gang
;
Liu, Mao
;
Zhu, Li
;
Liang, Shuang
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浏览/下载:65/0
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提交时间:2019/06/10
electrical properties
forming gas annealing
high-k gate dielectrics
interface chemistry
metal-oxide-semiconductor capacitors
半导体器件的制造方法
专利
OAI收割
专利号: US9899270, 申请日期: 2018-02-20, 公开日期: 2014-06-05
作者:
徐秋霞
;
朱慧珑
;
许高博
;
周华杰
;
梁擎擎
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2019/03/27
Interface quality modulation, band alignment modification and optimization of electrical properties of HfGdO/Ge gate stacks by nitrogen incorporation
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS, 2017, 卷号: 695, 期号: 无, 页码: 2199-2206
作者:
Gao, J.
;
He, G.
;
Fang, Z. B.
;
Lv, J. G.
;
Liu, M.
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提交时间:2018/07/04
High-k Gate Dielectrics
Interface Quality
Band Alignment
Electrical Properties
Leakage Current Mechanism
High-Mobility P-Type MOSFETs with Integrated Strained-Si0.73Ge0.27 Channels and High-k/Metal Gates
期刊论文
OAI收割
CHIN. PHYS. LETT., 2016
作者:
Mao SJ(毛淑娟)
;
Zhu ZY(朱正勇)
;
Wang GL(王桂磊)
;
Zhu HL(朱慧珑)
;
Li JF(李俊峰)
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2017/05/09
Modification of band alignments and optimization of electrical properties of InGaZnO MOS capacitors with high-k HfOxNy gate dielectrics
期刊论文
OAI收割
JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS, 2016, 卷号: 679, 期号: 无, 页码: 115-121
作者:
Zheng, C. Y.
;
He, G.
;
Chen, X. F.
;
Liu, M.
;
Lv, J. G.
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2017/10/18
Band Offset
Hfo2/ingazno4 Heterojunctions
X-ray Photoelectron Spectroscopy
Thin Film Transistors
Electrical Properties
Mos Capacitor
Process optimizations to recessed e-SiGe source/drain for performance enhancement in 22nm all-last high-k/metal-gate pMOSFETs
期刊论文
OAI收割
solid-state electronics, 2016
作者:
Qin ZL(秦长亮)
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2017/05/09
Performance Enhancement of Metal Floating Gate Memory By Using a Bandgap Engineered High-k Tunneling Barrier
会议论文
OAI收割
作者:
Huo ZL(霍宗亮)
;
Tang ZY(唐兆云)
;
Zhang Y(张瑜)
;
Zou XQ(邹兴奇)
;
Chen GX(陈国星)
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2017/05/12