机构

• 半导体研究所 [4]
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• 微电子研究所 [1]
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采集方式

• OAI收割 [8]

内容类型

• 学位论文 [4]
• 专利 [2]
• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2016 [8]

学科主题

• 半导体器件 [3]
• 微电子学 [3]

筛选

浏览/检索结果: 共8条，第1-8条 帮助 限定条件 发表日期：2016     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作 期刊论文  OAI收割 压电与声光, 2016, 期号: 4, 页码: 562-565 作者:  李加东;  张轲;  吴东岷;  苗斌   |  收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2017/09/17 力值计量  悬臂梁  弹性系数  微机电系统  绝缘衬底上的硅(Soi)   基于MEMS悬臂梁的生化检测技术研究 学位论文  OAI收割 博士后, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 李男男 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2016/06/23 微机械悬臂梁  耦合悬臂梁阵列  表面反应  微流体系统   便携式MEMS微悬臂梁生物传感器设计及系统集成研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2016 王晶晶 收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2016/06/03 微悬臂梁  生物传感器  闭环谐振器  肝癌早诊  局域修饰  便携式   应力匹配的双材料微悬臂梁的制造方法 专利  OAI收割 专利号: CN201210024934.X, 申请日期: 2016-05-18, 公开日期: 2013-08-14 作者:     |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2017/06/30 一种基于光纤阵列的微悬臂梁阵列生化传感装置及方法 专利  OAI收割 专利号: CN105548011A, 申请日期: 2016-05-04, 公开日期: 2016-05-04 作者:  张青川;  张广平;  吴尚犬;  伍小平   |  收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/12/31 微悬臂梁生化传感器系统集成与检测 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 廖驹 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2016/06/03 MEMS生化传感器  微悬臂梁  频率检测  微流体控制  传感器系统   AFM扫描探针的研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2016 何欢 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/06/03 扫描探针显微镜  AFM探针  MEMS  微悬臂梁  硅针尖   原子力显微镜探针批量制备工艺分析 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2016, 期号: 2, 页码: 119-123 作者:  李加东;  吴东岷;  张轲;  苗斌   |  收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2017/09/17 原子力显微镜(Afm)  探针  绝缘衬底上的硅(Soi)  自锐式  曲率半径