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浏览/检索结果: 共64条，第1-10条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 新型三明治MEMS加速度传感器的设计、制作与测试 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 周晓峰 收藏  |  浏览/下载：118/0  |  提交时间：2013/04/24 微电子机械系统  加速度传感器  地震检波器  腐蚀自停止   基于FPGA的MEMS谐振微悬臂梁生化传感器接口电路 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 柴光飞 收藏  |  浏览/下载：83/0  |  提交时间：2013/04/24 谐振式微悬臂梁  生化传感器  接口电路  锁相环  FPGA   用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113 蔡梅妮; 林友玲; 车录锋; 苏荣涛; 周晓峰; 黎晓林 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2013/02/22 三明治电容式MEMS加速度传感器  自停止腐蚀  品质因数  器件级真空封装  双面划片   MEMS谐振器的并联电容噪声抑制 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2012, 期号: 5, 页码: 318-322 唐梦; 冯明; 程新红 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2013/02/22 MEMS谐振器  质量传感器  生化检测  电容补偿  频率噪声   AZ 31镁合金阳极氧化工艺参数的优化研究 期刊论文  OAI收割 电镀与环保, 2012, 期号: 3, 页码: 39-42 陈利; 屠晓华; 卫中领; 范松岩; 吴建一 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2013/02/22 镁合金  阳极氧化  正交实验   基于太赫兹量子阱探测器的被动式热成像探测系统及方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN102288299A, 申请日期: 2011-12-21, 公开日期: 2011-12-21 周涛; 曹俊诚; 张戎; 郭旭光 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2012/01/06 双波束三天线微波交通信息检测雷达和方法 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN102169180A, 申请日期: 2011-08-31, 公开日期: 2011-08-31 余稳; 张宙元; 方菲菲; 许鹏拓; 钱蓉; 孙晓玮 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2012/01/06 用于痕量胺类同系物检测的谐振式微悬臂梁传感器 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2011, 期号: 09 杨天天; 于海涛; 许鹏程; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/04/13 微电子机械系统  化学传感器  微悬臂梁  介孔材料  胺   基于PID反馈的高Q值加速度计闭环检测电路 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2011, 期号: 02 孙腾; 车录锋; 黎晓林; 吴健 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2012/04/13 高Q值  加速度计  PID反馈  闭环检测   基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器 期刊论文  OAI收割 仪表技术与传感器, 2011, 期号: 11 魏长征; 周伟; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/04/13 压阻式加速度传感器  表面微机械技术  片上静电自检测功能