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• 上海微系统与信息技... [14]

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• OAI收割 [14]

内容类型

• 学位论文 [8]
• 期刊论文 [4]
• 专利 [1]
• 会议论文 [1]

发表日期

• 2012 [1]
• 2011 [1]
• 2010 [3]
• 2007 [4]
• 2006 [5]

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浏览/检索结果: 共14条，第1-10条 帮助 限定条件 存缴方式：oaiharvest    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 MEMS谐振器的并联电容噪声抑制 期刊论文  OAI收割 微纳电子技术, 2012, 期号: 5, 页码: 318-322 唐梦; 冯明; 程新红 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2013/02/22 MEMS谐振器  质量传感器  生化检测  电容补偿  频率噪声   新型MEMS质量传感器的研究 期刊论文  OAI收割 仪表技术与传感器, 2011, 期号: 08 熊磊; 焦继伟; 葛道晗; 宓斌伟; 张轩雄 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/04/13 MEMS  谐振器  质量传感器  自补偿   惯性环境下的MEMS电容式谐振器偏移量分析 会议论文  OAI收割 2010’全国第十三届微波集成电路与移动通信学术会议, 2010 刘保庆; 董林玺; 王晓迪; 吴艳; 孙玲玲 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/01/18 MEMS器件圆片级芯片尺寸封装研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 曹毓涵 收藏  |  浏览/下载：48/0  |  提交时间：2012/03/06 MEMS谐振器  圆片级封装  TSV  Cu/Sn键合  真空气密封装   多孔硅技术及在MEMS封装中的应用 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 张圣 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2012/03/06 多孔硅  MEMS封装  边缘效应  机械应力  谐振器   一种悬臂梁结构、制作方法及应用 专利  OAI收割 专利类型: 发明, 专利号: CN101066749, 申请日期: 2007-11-07, 公开日期: 2007-11-07 王跃林; 车录锋; 熊斌; 范克彬 收藏  |  浏览/下载：89/0  |  提交时间：2012/01/06 基于BOE硅腐蚀现象的硅纳米线制作 期刊论文  OAI收割 传感技术学报, 2007, 期号: 10 王慧泉; 郑阳明; 金仲和; 马慧莲; 李铁; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：75/0  |  提交时间：2012/01/06 车辆检测  视频检测  车辆跟踪   单片集成的高性能压阻式三轴高g加速度计的设计、制造和测试 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2007, 期号: 09 董培涛; 李昕欣; 张鲲; 吴学忠; 李圣怡; 封松林 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2012/01/06 MEMS  纳米梁  各向异性腐蚀  硅  纳米谐振器   纳米谐振器结构的加工技术研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2007 许科峰   收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2012/03/06 MEMS/NEMS  谐振器  Q值  频率     基于MEMS 技术制作的硅纳米线及其性质研究 学位论文  OAI收割 博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2006 刘文平 收藏  |  浏览/下载：62/0  |  提交时间：2012/03/06 纳米制造技术  硅纳米线  微电子机械系统  表面态