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OAI收割 [13]
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学科主题
红外探测材料与器件 [1]
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短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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  |  
平滑陡直的Si深槽刻蚀方法
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2009, 卷号: 34, 期号: 3, 页码: 4,214-216,220
作者:
张育胜
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  |  
相变存储器加热电极与相变材料刻蚀工艺研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2009
冯高明
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  |  
基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计
期刊论文
OAI收割
核技术, 2008, 期号: 06
朱伟忠
;
吴衍青
;
史沛熊
;
郭智
;
邰仁忠
;
徐洪杰
收藏
  |  
基于Taguchi三次设计的微机械陀螺健壮性设计
期刊论文
OAI收割
上海交通大学学报, 2008, 期号: 02
张正福
;
王安麟
;
刘广军
;
姜涛
;
焦继伟
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  |  
高密度等离子体刻蚀机中的终点检测技术
期刊论文
OAI收割
微电子学, 2005, 卷号: 35, 期号: 3, 页码: 5,236-239,244
作者:
王巍
;
叶甜春
;
陈大鹏
;
刘明
;
李兵
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  |  
锑化物激光器、探测器的刻蚀工艺以及电化学C-V技术研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2005
洪婷
收藏
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对称量子点花样体系电容谱
期刊论文
OAI收割
中国科学:G辑, 2003, 卷号: 033
作者:
戴振宏
;
孙金祚
;
张立德
;
隋鹏飞
;
黄士勇
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硅光栅技术
期刊论文
OAI收割
光机电信息, 2002, 期号: 08, 页码: 13-15
作者:
刘剑
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亚波长周期结构光栅的制作工艺和理论关系研究
会议论文
OAI收割
中国长春
作者:
曹召良
;
卢振武
;
孙强
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