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短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  
宁锦华
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平滑陡直的Si深槽刻蚀方法 期刊论文  OAI收割
半导体技术, 2009, 卷号: 34, 期号: 3, 页码: 4,214-216,220
作者:  
张育胜
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相变存储器加热电极与相变材料刻蚀工艺研究 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2009
冯高明
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基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计 期刊论文  OAI收割
核技术, 2008, 期号: 06
朱伟忠; 吴衍青; 史沛熊; 郭智; 邰仁忠; 徐洪杰
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基于Taguchi三次设计的微机械陀螺健壮性设计 期刊论文  OAI收割
上海交通大学学报, 2008, 期号: 02
张正福; 王安麟; 刘广军; 姜涛; 焦继伟
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高密度等离子体刻蚀机中的终点检测技术 期刊论文  OAI收割
微电子学, 2005, 卷号: 35, 期号: 3, 页码: 5,236-239,244
作者:  
王巍;  叶甜春;  陈大鹏;  刘明;  李兵
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锑化物激光器、探测器的刻蚀工艺以及电化学C-V技术研究 学位论文  OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2005
洪婷  
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对称量子点花样体系电容谱 期刊论文  OAI收割
中国科学:G辑, 2003, 卷号: 033
作者:  
戴振宏;  孙金祚;  张立德;  隋鹏飞;  黄士勇
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硅光栅技术 期刊论文  OAI收割
光机电信息, 2002, 期号: 08, 页码: 13-15
作者:  
刘剑
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亚波长周期结构光栅的制作工艺和理论关系研究 会议论文  OAI收割
中国长春
作者:  
曹召良;  卢振武;  孙强
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