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• 期刊论文 [10]

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浏览/检索结果: 共10条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 全固态高压脉冲电源在半导体光刻光源中的应用 期刊论文  OAI收割 强激光与粒子束, 2019, 卷号: 031 作者:  游利兵;  程超;  方晓东   |  收藏  |   光刻过程RtR控制方法研究进展分析 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2011, 卷号: 36, 期号: 3, 页码: 199-205 作者:  胡静涛 收藏  |   157nm紫外光刻设备用光学材料研究进展 期刊论文  OAI收割 材料导报, 2003, 期号: 06, 页码: 34-36 臧春雨; 曹望和; 石春山 收藏  |   157nm紫外光刻设备用光学材料研究进展 期刊论文  OAI收割 材料导报, 2003, 卷号: 17, 期号: 6, 页码: 34-36 臧春雨; 曹望和; 石春山 收藏  |   极端远紫外光刻技术 期刊论文  OAI收割 半导体情报, 2001, 卷号: 38, 期号: 5, 页码: 5，28-32 作者:  谢常青;  叶甜春   |  收藏  |   全新深亚微米X射线T型栅工艺 期刊论文  OAI收割 北京同步辐射装置年报, 2001, 期号: 1, 页码: 3，142-144 作者:  韩勇;  彭良强;  谢常青;  陈大鹏;  孙加兴   |  收藏  |   回眸五十年的艰辛 细微之处见业绩我国制版光刻技术的发展轨迹 期刊论文  OAI收割 世界产品与技术, 2000, 期号: 4, 页码: 2，10-11 作者:  陈宝钦   |  收藏  |   X射线光刻技术研究的现状 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 1999, 期号: 3, 页码: 5,27_31 作者:  叶甜春;  谢常青   |  收藏  |   投影光刻中相位光栅对准信号计算的新模型 期刊论文  OAI收割 电子学报, 1999, 期号: 07 陈敏麒 收藏  |   KrF准分子激光移相光刻在HEMT栅加工中的应用 期刊论文  OAI收割 固体电子学研究与进展, 1998, 卷号: 18, 期号: 1, 页码: 7，94-100 作者:  钱鹤;  刘训春   |  收藏  |