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学科主题

• 粒子物理与原子核物理 [1]

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浏览/检索结果: 共24条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 X射线干涉光刻光束线关键光学元件热-结构耦合分析 期刊论文  OAI收割 仪器仪表学报, 2015, 期号: 10, 页码: 2347-2354 作者:  龚学鹏;  卢启鹏 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/07/06 X射线干涉光刻  热分析  数值模拟  同步辐射   X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2142-2150 作者:  彭忠琦;  卢启鹏;  龚学鹏 收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2015/04/17 上海同步辐射光源  X射线干涉光刻  偏转镜  结构设计  精度测试   深亚微米X射线光刻模拟软件XLSS1．0 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2004, 期号: 4, 页码: 27-30,35 作者:  张菊芳;  谢常青;  王德强;  陈大鹏;  叶甜春   |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/05/26 X射线光刻  同步辐射  束衍生法  面向对象编程   50nm及50nm以下同步辐射X射线光刻光束线设计 期刊论文  OAI收割 核技术, 2004, 期号: 5, 页码: 321-324 作者:  谢常青;  陈大鹏;  李兵;  叶甜春;  伊福廷 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/01/25 X射线光刻  同步辐射  束衍生法  光刻分辨率   深亚微米X射线光刻模拟软件XLSS1.0 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2004, 期号: 4, 页码: 27-30+35 作者:  谢常青;  王德强;  陈大鹏;  叶甜春;  伊福廷 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2015/12/25 X射线光刻  同步辐射  束衍生法  面向对象编程   纳米岛光刻技术和它在同步辐射纳米光刻中的应用 项目  OAI收割 2004-2006 作者:  伊福廷 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2015/07/09 MEMS  NEMS  纳米结构  微加工  同步辐射光刻   同步辐射光刻技术进展 期刊论文  OAI收割 核技术, 2002, 期号: 10, 页码: 817-821 作者:  陈大鹏;  彭良强 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2015/12/25 同步辐射  光刻技术  研究进展  X射线光刻  掩模  集成电路  制造   同步辐射讲座 第五讲 微电子机械系统加工新方法——LIGA技术 期刊论文  OAI收割 物理, 2002, 期号: 11, 页码: 736-740 作者:  刘刚;  田扬超;  伊福廷;  彭良强 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2015/12/25 LIGA技术  微电子机械系统  同步辐射光刻   全新深亚微米X射线T型栅工艺 期刊论文  OAI收割 北京同步辐射装置年报, 2001, 期号: 1, 页码: 3，142-144 作者:  韩勇;  彭良强;  谢常青;  陈大鹏;  孙加兴   |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2010/05/25 Gaas  半导体材料  亚微米x射线t型栅工艺  制造  半导体器件  X射线光刻  同步辐射  砷化镓   BSRF上同步辐射深度光刻的实验研究 期刊论文  OAI收割 高能物理与核物理, 2001, 期号: S1, 页码: 128-130 作者:  彭良强;  伊福廷;  韩勇;  张菊芳) 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/01/25 同步辐射深度光刻  超深结构  高深宽比