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光电侦查平台中电容式角位传感器的应用
期刊论文
OAI收割
信息通信, 2016, 期号: 1, 页码: 31-32
作者:
曹得胜
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2017/09/17
光电
电容式角位传感器
测量
光电稳定平台角位移高精度测量方法研究
期刊论文
OAI收割
国外电子测量技术, 2015, 期号: 10, 页码: 54-57
作者:
张宇鹏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2016/07/06
光电稳定平台
电容式传感器
测量
基于离散小波变换的气固两相流参数测量
会议论文
OAI收割
中国工程热物理学会-多相流, 2013
黄峰
;
杨道业
;
施源
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2013/11/28
双层螺旋电极电容式传感器
离散小波变换
气固两相流
用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作
期刊论文
OAI收割
传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113
蔡梅妮
;
林友玲
;
车录锋
;
苏荣涛
;
周晓峰
;
黎晓林
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2013/02/22
三明治电容式MEMS加速度传感器
自停止腐蚀
品质因数
器件级真空封装
双面划片
MEMS电容式微加速度传感器的电路补偿和校准研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2010
戚玉婕
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浏览/下载:54/0
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提交时间:2012/03/06
电容式加速度传感器
反馈补偿参数
Q值
DSP
MEMS电容式微加速度传感器Q值测试与力反馈接口电路研究
学位论文
OAI收割
硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2009
张灵霖
收藏
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浏览/下载:115/0
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提交时间:2012/03/06
电容式加速度传感器
阶跃响应测试
等效刚度
闭环力反馈
带宽
镁合金AZ31化学成膜及其耐蚀性研究
期刊论文
OAI收割
腐蚀科学与防护技术, 2009, 期号: 02
李春梅
;
卫中领
;
沈钰
;
王增辉
;
陈秋荣
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2012/01/06
电容式加速度传感器
硅硅键合
圆片级真空封装
电容间隙控制
波长扩展InGaAs探测器的量子效率优化
期刊论文
OAI收割
半导体光电, 2008, 期号: 06
田招兵
;
顾溢
;
张晓钧
;
张永刚
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2012/01/06
电容式加速度传感器
硅硅键合
圆片级真空封装
GaSb/InGaAsSb量子阱的带间跃迁设计
期刊论文
OAI收割
功能材料与器件学报, 2008, 期号: 03
刘盛
;
张永刚
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/01/06
电容式传感器
MEMS
信号调理
检测电路
一种电容间隙精确可控的硅硅键合三明治加速度传感器
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2008
毛健
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2012/03/06
电容式加速度传感器
硅硅键合
圆片级真空封装
电容间隙控制