机构

• 微电子研究所 [7]
• 高能物理研究所 [7]

采集方式

• OAI收割 [14]

内容类型

• 期刊论文 [14]

发表日期

• 2004 [3]
• 2002 [1]
• 2001 [1]
• 2000 [2]
• 1999 [2]
• 1997 [4]
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浏览/检索结果: 共14条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 深亚微米X射线光刻模拟软件XLSS1．0 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2004, 期号: 4, 页码: 27-30,35 作者:  张菊芳;  谢常青;  王德强;  陈大鹏;  叶甜春   |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2010/05/26 X射线光刻  同步辐射  束衍生法  面向对象编程   50nm及50nm以下同步辐射X射线光刻光束线设计 期刊论文  OAI收割 核技术, 2004, 期号: 5, 页码: 321-324 作者:  谢常青;  陈大鹏;  李兵;  叶甜春;  伊福廷 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/01/25 X射线光刻  同步辐射  束衍生法  光刻分辨率   深亚微米X射线光刻模拟软件XLSS1.0 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2004, 期号: 4, 页码: 27-30+35 作者:  谢常青;  王德强;  陈大鹏;  叶甜春;  伊福廷 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2015/12/25 X射线光刻  同步辐射  束衍生法  面向对象编程   同步辐射光刻技术进展 期刊论文  OAI收割 核技术, 2002, 期号: 10, 页码: 817-821 作者:  陈大鹏;  彭良强 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2015/12/25 同步辐射  光刻技术  研究进展  X射线光刻  掩模  集成电路  制造   全新深亚微米X射线T型栅工艺 期刊论文  OAI收割 北京同步辐射装置年报, 2001, 期号: 1, 页码: 3，142-144 作者:  韩勇;  彭良强;  谢常青;  陈大鹏;  孙加兴   |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2010/05/25 Gaas  半导体材料  亚微米x射线t型栅工艺  制造  半导体器件  X射线光刻  同步辐射  砷化镓   上海第三代同步辐射装置及其在光刻和LIGA中的应用 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2000, 卷号: 25, 期号: 1, 页码: 3，11-13 作者:  谢常青;  叶甜春   |  收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2010/05/25 同步辐射光源  X射线光刻  Liga   深亚微米同步辐射x射线光刻技术 期刊论文  OAI收割 半导体情报, 2000, 卷号: 37, 期号: 6, 页码: 4，35-37,42 作者:  叶甜春;  谢常青   |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/05/25 X射线光刻  同步辐射  深亚微米   0.5μm分辨率同步辐射X射线光刻技术 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 1999, 期号: 3, 页码: 4,32_34,5 作者:  谢常青;  伊福廷   |  收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2010/05/25 X射线光刻  分辨率  同步辐射  氮化硅薄膜   0.5μm分辨率同步辐射X射线光刻技术 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 1999, 期号: 3, 页码: 32-34+5 作者:  谢常青;  叶甜春;  孙宝银;  伊福廷 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2015/12/25 X射线光刻  分辨率  同步辐射  氮化硅薄膜   同步辐射X射线光刻计算机模拟研究 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 1997, 期号: 3, 页码: 6，14-19 作者:  叶甜春;  谢常青   |  收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/05/25 X射线光刻  分辨率  同步辐射  计算机模拟  光刻