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OAI收割 [23]
内容类型
期刊论文 [16]
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发表日期
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2015 [1]
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学科主题
天文和天体物理 [1]
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新型轻质阻尼基座设计与隔振性能研究
期刊论文
OAI收割
力学与实践, 2021, 卷号: 43, 期号: 04, 页码: 529-535
作者:
刘瑞霞
;
裴东亮
;
王育人
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2021/11/12
声子玻璃
轻质
阻尼基座
隔振
加速度振级
船舶余热发电系统多级汽轮机的热力设计
会议论文
OAI收割
作者:
张文平 孙文剑 刘晨 郑文琦 何阳
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2017/07/12
余热利用
双压
汽轮机
速度级
以角速度为转向动作反馈的拖拉机自动导航控制系统
期刊论文
OAI收割
农机化研究, 2015, 期号: 3, 页码: 25-29
作者:
刘晓光
;
胡静涛
;
高雷
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浏览/下载:43/0
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提交时间:2014/12/29
拖拉机
角速度计
转向控制
自动导航
串级控制
三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012
蔡梅妮
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浏览/下载:198/0
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提交时间:2013/04/24
MEMS加速度传感器
吸气剂
器件级真空封装
Q
自停止腐蚀
三轴集成加速度传感器及其SIP微模块集成的研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012
王军诚
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浏览/下载:116/0
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提交时间:2013/04/24
压阻式三轴集成加速度传感器
抗过载
SIP微模块
芯片级封装
三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814
蔡梅妮
;
车录锋
;
林友玲
;
周晓峰
;
黎晓林
;
吴健
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浏览/下载:71/0
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提交时间:2013/02/22
三明治式MEMS加速度计
自停止腐蚀工艺
吸气剂
品质因子
器件级真空封装
用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作
期刊论文
OAI收割
传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113
蔡梅妮
;
林友玲
;
车录锋
;
苏荣涛
;
周晓峰
;
黎晓林
收藏
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2013/02/22
三明治电容式MEMS加速度传感器
自停止腐蚀
品质因数
器件级真空封装
双面划片
镁合金AZ31化学成膜及其耐蚀性研究
期刊论文
OAI收割
腐蚀科学与防护技术, 2009, 期号: 02
李春梅
;
卫中领
;
沈钰
;
王增辉
;
陈秋荣
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2012/01/06
电容式加速度传感器
硅硅键合
圆片级真空封装
电容间隙控制
波长扩展InGaAs探测器的量子效率优化
期刊论文
OAI收割
半导体光电, 2008, 期号: 06
田招兵
;
顾溢
;
张晓钧
;
张永刚
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浏览/下载:36/0
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提交时间:2012/01/06
电容式加速度传感器
硅硅键合
圆片级真空封装
一种电容间隙精确可控的硅硅键合三明治加速度传感器
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2008
毛健
收藏
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浏览/下载:40/0
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提交时间:2012/03/06
电容式加速度传感器
硅硅键合
圆片级真空封装
电容间隙控制