机构

• 上海微系统与信息技... [23]

采集方式

• OAI收割 [23]

内容类型

• 期刊论文 [23]

发表日期

• 2002 [3]
• 2001 [1]
• 2000 [2]
• 1999 [6]
• 1998 [3]
• 1997 [2]
• 更多

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共23条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 Ge-SiO_2薄膜的XPS研究 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2002, 期号: 01 叶春暖; 汤乃云; 吴雪梅; 诸葛兰剑; 余跃辉; 姚伟国 收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2012/03/29 K1 Ge-SiO2薄膜  溅射  XPS谱  退火   退火温度对Ge-SiO_2薄膜结构的影响 期刊论文  OAI收割 功能材料, 2002, 期号: 03 汤乃云; 叶春暖; 吴雪梅; 诸葛兰剑; 俞跃辉; 姚伟国 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/03/29 K1 薄膜  溅射  退火温度   硅基氧化物薄膜的结构及光吸收特性的研究 期刊论文  OAI收割 功能材料, 2002, 期号: 02 吴雪梅; 董业民; 诸葛兰剑; 叶春暖; 汤乃云; 俞跃辉; 宁兆元; 姚伟国 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2012/03/29 K1 薄膜  结构  光吸收   制备条件对Fe-Ta-N薄膜的结构和软磁性能的影响 期刊论文  OAI收割 磁性材料及器件, 2001, 期号: 02 马斌; 沈德芳; 狄国庆; 杨正; 魏福林 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2012/03/29 K1 Fe-Ta-N薄膜  磁头材料  软磁性能  制备条件   驱动光束不均匀性研究中的硅平面薄膜 期刊论文  OAI收割 强激光与粒子束, 2000, 期号: 02 周斌; 韩明; 陆卫昌; 徐平; 赖珍荃; 沈军; 邓忠生; 吴广明; 张勤远; 陈玲燕; 王珏 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/03/29 K1 Si平面薄膜  瑞利-泰勒不稳定性  ICF分解实验  驱动光束不均匀   用喷雾热分解法制备MgO薄膜 期刊论文  OAI收割 材料研究学报, 2000, 期号: 01 武光明; 符晓荣; 宋世庚; 林成鲁 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2012/03/29 K1 氧化镁  薄膜  喷雾热分解   溶胶-凝胶法制备MgO薄膜的研究 期刊论文  OAI收割 功能材料, 1999, 期号: 06 武光明; 符晓荣; 林成鲁 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/03/29 K1 MgO  薄膜  溶胶-凝胶法   投影光刻中相位光栅对准信号计算的新模型 期刊论文  OAI收割 电子学报, 1999, 期号: 07 陈敏麒 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/03/29 K1 半导体光刻  相位光栅  多层薄膜  Fourier光学   不同工艺制备的铁电薄膜底电极Pt/Ti 期刊论文  OAI收割 稀有金属材料与工程, 1999, 期号: 05 宋志棠; 曾建明; 高剑侠; 张苗; 林成鲁 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/03/29 K1 Pt薄膜  织构  底电极  铁电薄膜   大面积平坦金刚石薄膜的制备和图形化 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 1999, 期号: 04 张志明; 沈荷生; 何贤昶; 万永中; 杨艺蓉; 任琮欣 收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2012/03/29 K1 金刚石薄膜  平坦表面  离子束刻蚀