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机构
上海微系统与信息技... [23]
采集方式
OAI收割 [23]
内容类型
期刊论文 [23]
发表日期
2002 [3]
2001 [1]
2000 [2]
1999 [6]
1998 [3]
1997 [2]
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Ge-SiO_2薄膜的XPS研究
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 2002, 期号: 01
叶春暖
;
汤乃云
;
吴雪梅
;
诸葛兰剑
;
余跃辉
;
姚伟国
收藏
  |  
退火温度对Ge-SiO_2薄膜结构的影响
期刊论文
OAI收割
功能材料, 2002, 期号: 03
汤乃云
;
叶春暖
;
吴雪梅
;
诸葛兰剑
;
俞跃辉
;
姚伟国
收藏
  |  
硅基氧化物薄膜的结构及光吸收特性的研究
期刊论文
OAI收割
功能材料, 2002, 期号: 02
吴雪梅
;
董业民
;
诸葛兰剑
;
叶春暖
;
汤乃云
;
俞跃辉
;
宁兆元
;
姚伟国
收藏
  |  
制备条件对Fe-Ta-N薄膜的结构和软磁性能的影响
期刊论文
OAI收割
磁性材料及器件, 2001, 期号: 02
马斌
;
沈德芳
;
狄国庆
;
杨正
;
魏福林
收藏
  |  
驱动光束不均匀性研究中的硅平面薄膜
期刊论文
OAI收割
强激光与粒子束, 2000, 期号: 02
周斌
;
韩明
;
陆卫昌
;
徐平
;
赖珍荃
;
沈军
;
邓忠生
;
吴广明
;
张勤远
;
陈玲燕
;
王珏
收藏
  |  
用喷雾热分解法制备MgO薄膜
期刊论文
OAI收割
材料研究学报, 2000, 期号: 01
武光明
;
符晓荣
;
宋世庚
;
林成鲁
收藏
  |  
溶胶-凝胶法制备MgO薄膜的研究
期刊论文
OAI收割
功能材料, 1999, 期号: 06
武光明
;
符晓荣
;
林成鲁
收藏
  |  
投影光刻中相位光栅对准信号计算的新模型
期刊论文
OAI收割
电子学报, 1999, 期号: 07
陈敏麒
收藏
  |  
不同工艺制备的铁电薄膜底电极Pt/Ti
期刊论文
OAI收割
稀有金属材料与工程, 1999, 期号: 05
宋志棠
;
曾建明
;
高剑侠
;
张苗
;
林成鲁
收藏
  |  
大面积平坦金刚石薄膜的制备和图形化
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 1999, 期号: 04
张志明
;
沈荷生
;
何贤昶
;
万永中
;
杨艺蓉
;
任琮欣
收藏
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